| 测量行程(㎜) | 尺寸 | ||||||
| 测量分辨率 | 0.5μm(高精度钢带光栅)(可选配0.1μm) | ||||||
| X/Y轴测量精度 | (3或4+L/200)μm | ||||||
| Z轴测量精度 | (5+L/200)μm | ||||||
| 重复性 | 3μm | ||||||
| 放大倍率 | 光学0.7~4.5× 影像28~180× | ||||||
| 测量速度 | 400mm/s | ||||||
| 软件 | SINPO测量软件 | ||||||
| CCD | CCD | ||||||
| 镜头 | 自主研发自动变焦镜头 | ||||||
| 传动方式 | HIWIN丝杆传动 | ||||||
| 机台承重(㎏) | 40kg | ||||||
| 操作方式 | 智能一体化控制(鼠标+摇杆) | ||||||
| 适合环境 | 温度20℃±5℃ 湿度45%~75% | ||||||
| 电源供电 | 220V±22V (50/60)HZ | ||||||
| 光源 | PLC全角度智能程控照明系统:5环8区表面光(带激光指示器)+底部平行光 | ||||||
| 仪器外形尺寸(㎜) | 待定 | ||||||
| 仪器重量(㎏) | 待定 | ||||||