| 测量范围(㎜) | X向0~200, Y向0~100 | |||
| 承放工件最大高度(㎜) | 140 | |||
| 分辨力(㎜) | 0.0002(采用英国进口雷尼绍金属光栅系统) | |||
| 测量准确度 | (0.8+L/100)μm , 其中L为长度,单位为㎜ | |||
| 工作台 | 平面方工作台 | 尺寸(㎜) | 260×270 | |
| 承重(㎏) | 40 | |||
| 物镜放大率 | 1× | 3× | 5× | |
| 主显微镜立柱 | 倾斜范围±12°,倾斜角度分度值30′ | |||
| 工业摄像机 | CCD,像素为795*596 | |||
| 环境要求 | 室温20℃±1℃,被测件与仪器之间的温度差不大于1℃ | |||
| 相对湿度40~60%RH | ||||
| 仪器使用电源 | 220V 50Hz(有安全接地的电源) | |||
| 外型尺寸(mm) | 长1300,宽1250,高800 | |||
| 仪器重量 | 450㎏ | |||